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          半導(dǎo)體冷水機(jī)的作用

          點(diǎn)擊次數(shù):4007    更新時(shí)間:2017-07-21

          半導(dǎo)體冷水機(jī)的作用

              半導(dǎo)體冷水機(jī)是指 應(yīng)用在半導(dǎo)體領(lǐng)域,如掃描光刻機(jī)、微納坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、掃描探針顯微鏡等超精密儀器的高精度冷水機(jī)組。

              半導(dǎo)體冷水機(jī)的出現(xiàn)以及廣泛應(yīng)用,是隨著科技的不斷發(fā)展,現(xiàn)代超精密制造、加工、測(cè)量?jī)x器對(duì)工作環(huán)境提出了苛刻要求,尤其是以光刻機(jī)為代表的超大規(guī)模集成電路制造設(shè)備,其高集成度導(dǎo)致常規(guī)散熱方法遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿(mǎn)足要求,同時(shí)投影物鏡的光刻質(zhì)量、運(yùn)動(dòng)部件的定位精度以及測(cè)量裝置的測(cè)量精度等都對(duì)環(huán)境參數(shù)的變化特別是溫度的變化尤為敏感。因此,環(huán)境參數(shù)尤其是溫度的控制成為一項(xiàng)關(guān)鍵問(wèn)題,而半導(dǎo)體冷水機(jī)的出現(xiàn)正好解決了這一難題。

           半導(dǎo)體冷水機(jī)溫度控制系統(tǒng)是保證步進(jìn)掃描光刻機(jī)、微納坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、掃描探針顯微鏡等超精密儀器設(shè)備良好工作狀態(tài)的重要組成單元。

          半導(dǎo)體冷水機(jī)參數(shù):

          產(chǎn)品名稱(chēng)

          型號(hào)

          制冷量

          出水壓力
          Kgf/cm

          水流量
          l/min

          功率
          W

          水箱容積
          L

          外形尺寸

          長(zhǎng)*寬*高

          半導(dǎo)體

          冷水機(jī)

          Kw/h

          Kca/h

          TF-LS-300W

          0.3

          258

          0.1-0.6

          9-20

          280

          5.5

          505*230*500

          TF-LS-600W

          0.6

          516

          0-2

          0-60

          900

          16

          650*550*750

          TF-LS-1KW

          1

          860

          0-2

          0-60

          900

          16

          650*550*750

          TF-LS-1.5KW

          1.5

          1290

          0-2

          0-60

          900

          16

          650*550*750

          TF-LS-2KW

          2

          1720

          0-2

          0-60

          1200

          27

          650*550*900

          TF-LS-2.5KW

          2.5

          2150

          0-2

          0-60

          1200

          27

          650*550*900

          TF-LS-3KW

          3

          2580

          0-2

          0-60

          1500

          37

          650*650*1050

          TF-LS-3.5KW

          3.5

          3010

          0-2

          0-60

          1500

          37

          650*650*1050

          TF-LS-4KW

          4

          3440

          0-2

          0-60

          2000

          43

          700*650*1050

          TF-LS-4.5KW

          4.5

          3870

          0-2

          0-60

          2000

          43

          700*650*1050

          TF-LS-6KW

          6

          5160

          0-2

          0-60

          2300

          45

          750*650*1050

          TF-LS-6.5KW

          6.5

          5590

          0-2

          0-60

          2300

          45

          750*650*1050

          TF-LS-8KW

          8

          6880

          0-2

          0-60

          2865

          47

          750*700*1050

          TF-LS-10KW

          10

          8600

          0-2

          0-60

          2865

          47

          750*700*1050

          TF-LS-12KW

          12

          10320

          0-2

          0-60

          3870

          80

          1200*650*1200

          TF-LS-15KW

          15

          12900

          0-2

          0-60

          4600

          88

          1200*715*1200

          TF-LS-18KW

          18

          15480

          0-2

          0-60

          5280

          105

          1350*750*1500

          TF-LS-20KW

          20

          17200

          0-2

          0-60

          7150

          180

          1350*800*1600

          TF-LS-23KW

          23

          19780

          0-2

          0-60

          7150

          180

          1350*800*1600

          TF-LS-25KW

          25

          21500

          0-2

          0-60

          9000

          195

          1350*850*1735

          TF-LS-30KW

          30

          25800

          0-2

          0-60

          9000

          195

          1350*850*17358

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